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高纯氮气



高纯氮气的生成与用途

高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。

高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程,生产过程中将有冷量损失,有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失;有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程,但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机,取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。




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